真空泵及其類型

    一個容器放在自然環境中.如果不改變其內部氣體壓強，那么容器內外部的氣體壓力達到平衡狀態，在數值上等于大氣壓。要使容器內部達到真空狀態，就必須排出容器內部的氣體，使內部氣體壓強小于外部大氣壓。利用機械、物理、化學或物理化學的方法，把氣體從容器中排出而獲得真空的設備稱為真空泵。真空泵按其工作原理的不同分為壓縮型(變容型)和吸附型兩類。壓縮型真空泵工作原理是將泵的入口端的氣體壓縮到出口端，并排出至泵外。常見壓縮型真空泵有:利用膨脹一壓縮一排出過程的旋轉式機械泵，利用渦輪葉片排除氣體的渦輪分子泵等。吸附型真空泵的工作原理是將氣體吸附在泵體內，已達到降低氣體壓強的目的。常見吸附型真空泵有:利用電離吸氣作用的離子泵，利用物理或化學吸附作用的吸附泵、吸氣泵和低溫冷凝泵等。吸附型真空泵與壓縮型真空泵最大不同是，吸附型真空泵并不是將氣體排出泵外，而是貯存在泵內，前者所能達到的真空度比后者高，但抽速小，適用容器也較小。真空電阻爐采用的是壓縮型真空泵，例如機械泵、羅茨泵以及擴散泵等。

    各類真空泵都有自己的工作范圍，有的泵可以直接從大氣狀態下開始工作，如機械泵、吸附泵，有些泵就不能直接從大氣狀態下開始工作，如擴散泵、分子泵、離子泵等，入口真空度必須達到一定數值時，才能開始工作。

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